其过程是由雾化器将试样喷入火焰，激发发光，经分光后由检测器测量发射强度，后者与试样中待测元素含量成正比。如：将食盐置于原子吸收火焰分光光度计中时，火焰呈黄色，这是由于食盐中的钠原子外层电子吸收火焰的热能，而跃迁到受激能级，再由受激能级恢复到正常状态时，电子就要释放能量。

这种能量的表征式发射出钠原子所*波长的光谱线环色光谱。利用火焰的热能是某元素的原子激发发光，并用仪器检测其光谱能量的强弱，进而判断物质中某元素含量的高低，这类仪器称之为原子吸收火焰分光光度计。

如今较为先进的火焰光度计可同时进行多元素的同时分析检测，内置空压机一体化设计，并带有软件记录。

原子吸收火焰分光光度计的结构

有单光束，双光束，双波道，多波道等结构形式。其基本结构一般有四大部分组成，即光源（单色锐线辐射源）、试样原子化器、单色仪和数据处理系统（包括光电转换器及相应的检测装置）。

原子化器主要有两大类，即火焰原子化器和电热原子化器。火焰有多种火焰，目前普遍应用的是空气—乙炔火焰。电热原子化器普遍应用的是石墨炉原子化器，因而原子吸收火焰分光光度计，就有火焰原子吸收分光光度计和带石墨炉的原子吸收分光光度计。前者原子化的温度在2100℃～2400℃之间，后者在2900℃～3000℃之间。